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ROT-OS09 # 工位九、薄膜測厚工位簡介
在薄膜材料、玻璃製造等多個(ge) 行業(ye) 裏,薄膜的在線測量不可少。薄膜測厚是光電技術中‘算法密集型’的應用,應用了光譜預處理方法、回歸算法和傅立葉變換信號處理等處理方法。學生在此工位中通過搭建薄膜測厚的光路,跟隨流程,了解如何從(cong) 大量的數據中,去除幹擾,得到所需要測量的關(guan) 鍵值的方法。
ROT-OS09 # 工位九、薄膜測厚工位實訓內(nei) 容
學習(xi) 和掌握白光幹涉測定薄膜厚度的基本原理;
使用擬合算法測量單層MgF2增透膜和鍍膜矽片的膜厚;
使用快速傅立葉變換算法測量PET薄膜的厚度;
自建薄膜樣品的測量方法。